在半導體業界,通常使用異丙醇來清潔硅晶圓,以去除硅晶圓上的雜質及污染物,含異丙醇的廢水便因此產生。在所屬技術領域中,依異丙醇的含量高低,可將廢水區分為高異丙醇含量廢水(約10wt%至20wt%)以及低異丙醇含量廢水(約100ppm至2000ppm),并針對不同濃度的異丙醇廢水,發展出不同的異丙醇廢水處理系統。
異丙醇廢水處理系統其是搭配一氣/液質傳單元(例如:吹脫塔或蒸餾塔)的觸媒氧化系統。將含異丙醇的廢水輸送至氣/液質傳單元后,通過吹脫或蒸發的方式將異丙醇提取至氣相,再通過氣體收集管路,將氣相異丙醇引導至觸媒氧化系統,進一步將異丙醇氣體分解成二氧化碳及水蒸氣,以達到去除異丙醇的效果。
然而,在此異丙醇廢水處理系統中,于提取氣相異丙醇的步驟中,需使用大量的氣體(約為廢水體積流量200倍至1000倍的空氣),并需提供高溫(大于250℃)的環境,以達到分離異丙醇的效果。因此,此異丙醇廢水處理系統存在能源消耗大的缺點。
另外,在處理過程中,氣相中異丙醇的含量高于異丙醇的爆炸下限濃度(lower explosive limit,lel),而具有爆炸的風險。具體來說,異丙醇的爆炸下限濃度為2vol%,一般安全的操作條件為1/4的爆炸下限濃度。
異丙醇廢水處理系統其是將含異丙醇的廢水通入一微生物處理設備中,利用設備中的好氧微生物分解異丙醇。為了維持微生物的生存,在處理廢水的過程中,需持續通入大量空氣(或氧氣)。
在分解異丙醇之后,處理后的廢水會伴隨大量的活性污泥一起產生,因此,此異丙醇廢水處理系統的下游需設置有一固液分離單元(例如:重力沉淀槽)以及一污泥回流輸送設備,以避免流失具有分解能力的活性污泥。
為了確保異丙醇廢水處理系統的分解能力,需有計劃的管控微生物的濃度,并適時淘汰老化的活性污泥,并將老化的活性污泥交由廢棄污泥廠商處理。
總結來說,上述異丙醇廢水處理系統涉及微生物的分解,而存在許多不可控性,且整體廢水的處理時間長、設備占地空間大,還衍生出處理老化污泥的問題。因此,如何通過系統的改良,改善處理異丙醇廢水時產生的不便性,來克服上述的缺陷,已成為該項事業所欲解決的重要課題之一。
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